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2024-05-01 17:08

关于ASML光刻机的权力斗争内幕

本文来自微信公众号:金捷幡 (ID:jin-jiefan),作者:金捷幡,题图来源:视觉中国

文章摘要
本文介绍了关于ASML光刻机的权力斗争内幕,涉及到科技冷战、大国博弈以及ASML在夹缝中挣扎的情况。

• 💡 作者揭示了ASML在面临技术问题和专利战时的策略与挑战

• 🌟 描述了ASML在应对中国市场需求、扩大员工规模和面临间谍黑客攻击的情况

• 🔥 深入探讨了ASML光刻机的能源使用效率问题和未来发展趋势

最近半导体圈内有本大家很期待的新书,书名特别的短又特别的长。


这本书就是《Focus》(聚焦),副标题是“ASML之道,关于地球上最复杂机器的权力斗争内幕” (The ASML Way—-Inside the power struggle over the most complex machine on earth)



此书首发荷文英文版,我看到国内出版社也已经签了中文版。但看完之后,忍不住泼一小盆冷水:因为按国内出版的严格要求,恐怕其中很大的篇幅甚至有可能五分之一的内容都得删改。


原本大家都认为这本书是关于ASML的完整传记,这么说虽然也没错,但作者集中火力在描述目前的科技冷战和大国博弈;以及ASML如何在夹缝中挣扎,在挣扎中变异。


书中拜登和特朗普大概各出现了30多次,荷兰首相吕特大概20次,所以你们也能猜到我们出现的次数也不少。


废话不多说了,这里做个小读后感。纯属个人分享,不喜欢的话可以使劲喷。



本书前三分之一看得稍微有点郁闷,因为对于看过《光刻巨人》的话这部分信息增量有点少。好在作者对《光刻巨人》里的类似内容都以极大的幅度简化处理了。


中间关于1995年上市后的内容,正好和《光刻机之战》系列文章产生了互动,其中一些不谋而合很有一种知音的感觉。


比如,作者同样认为ASML以不值的高价收购美国SVG,是为了打入英特尔。美国身份既帮助了ASML在EUV研发中获取了利益,又为今天被迫在对中国的问题上站队付出了代价。


又比如ASML向英特尔、三星和台积电出售股份其实是为了收购Cymer,在EUV绝路上孤注一掷。还有,对于林本坚对浸入式究竟有什么贡献,ASML官方一直是不提的。



关于书中的一些小花絮,我看得津津有味。


英特尔的一个工厂,很诡异地在夜间1~2点良率会降低,然后又会自动恢复正常,技术人员百思不得其解。最后发现,原来是附近农场的牛放屁所致。


书中也没写为什么牛会集中在那个时间段放屁,但屁中的甲烷确实飘散在空气中最终进入了洁净室。英特尔最后只得花钱请农场搬走。


另外一个例子是关于风水,现在很多晶圆厂确实也很迷信的。亚利桑那有个晶圆厂里光刻机一直出问题,但工程师怎么检测都是正常的。更诡异的是,厂其它设备也频出问题。


厂长听说这个厂是坐落在以前印第安的人墓地上,就请了风水师来看。风水师发现厂门口的一些花坛还是什么的混凝土有点像墓碑,得搬走。更神奇的是,这个巫师也穿上兔子服进了产线考察,他说亡灵们喜欢红色,得给他们些红色。


厂长把包装镜头的鲜红纸盒叠了叠放在光刻机上,问题真的奇迹般消失了。多年来没人敢去动那个盒子,甚至新的光刻机进场也被要求放红盒子。



在台积电的一个晶圆厂现场,也曾有过一个浸没式设备问题;每次重新启动后,它会莫名其妙地在接下来的两个小时内产出次品芯,然后什么都不用调就一切恢复正常。


技术人员经过几个月的研究才找出原因。每次当机器停机,会有五滴水滴在那一层浸水上,导致其膨胀了几个纳米。这就足以使投影图案偏离正常。两小时后水分蒸发完,浸水恢复原状,使机器没有任何错误的痕迹。


类似这样的问题只有在工厂车间严酷的现实中才会暴露出来。即使经过多年的精心设计,这些机器面临的问题中有一半是难以想象的。


在疫情期间,也有个有趣的花絮。范登布林克(以下简称大马丁)不喜欢电话会议,他要亲自去台湾面对面和台积电唠嗑。我们都知道,那时各国或地区都有一些隔离政策,大马丁的宝贵时间可不能在隔离酒店里废掉。肿么办呢?


双方包下新竹的一座酒店,一半ASML员工住,一半台积电员工住,两者完全物理隔离。开会时他们才允许离开房间,在防疫人员的监督下走专用通道到会议室。会议室中间是一块亚克力玻璃完整分隔,这样他们能看到对方,但病毒很难穿过去。



除了技术问题,ASML一直以来最大的问题就是缺钱。其中忽悠英特尔一段最为有趣。


我们在《三巨头为什么投资ASML》里也提过,英特尔投资是为了上18寸晶圆光刻机,他们对EUV非常不看好。ASML花那么大一笔钱收购Cymer,股东们原本不太想支持。大马丁着实忽悠了英特尔,装模作样研发18寸机,然后说如果想要得先下订单哟。


英特尔可不想被PPT忽悠,想先看到机器再说。在2013年初,大马丁有预谋地把台积电、三星和英特尔的技术老板搞到一起,让那两家当面对英特尔说,他们不打算玩18寸。


英特尔的老板被突然袭击搞懵了,还带这么耍赖的。要知道那时他们还如日中天呢,哪里轮得到亚洲的小愤青在标准上指手画脚。没想到,随后两个小愤青都超越了老大。


这本书里重点刻画的两个主角,是前几天刚退休的ASML CEO温宁克和大马丁。温宁克出身平平,开始只是个外部会计师,这里我们又看到了CFO当CEO的一个案例,但故事的结局是美好的。


温宁克的重要使命,就是给大马丁搞钱,为那些极为昂贵、失败率极高、回报遥遥无期的研发去搞钱。而大马丁呢,当然就是挥霍掉几亿十几亿的欧元去搞他的大玩具。这种配合听起来好像没什么了不起,但真了解现在上市公司治理结构和公众指标的话,才会知道这是多么的不同寻常。



另外一件有趣的事,是蔡司如何帮着ASML对抗尼康的法律大战。


我们都知道通过双工台和浸入式,尼康在技术上已经很难翻盘了,所以他们后来搞起了专利战。毕竟人家玩了那么多年光刻,弄弄你侵权还是很轻松的。尤其ASML年轻的时候特别不重视专利,因此头上悬了一把剑。


一个熟悉的剧本是,ASML在荷兰的法院全胜,但在美国困难很大。美国法院的一招制敌,就是侵权就让你禁售。ASML反复求尼康和解,尼康死活不干。


这时蔡司骑着大白马出场了。作为百年巨头,相机专利那是一箩筐一箩筐的。蔡司伙同ASML告尼康相机侵权。你让我光刻机禁售,我让你相机禁售。


更神奇的是,蔡司居然推出了个叫ZX1的相机,一个在手机时代毫无竞争力产品。媒体都很困惑,这是啥玩意儿,要知道蔡司上一代相机还是胶卷呢。这个机器从来买不到,只做了几台样机给网红造势。


蔡司还为ZX1做了很多广告,因为要告尼康赔钱,它要证明自己确实有一款相机被侵权导致损失。这些广告显然都是给尼康看的。尼康真的有点慌了,最终同意了和ASML和解。然后蔡司的ZX1就消失了。



最后,书中关于中国的内容这里不方便多讲,咱简单截取一点来描述ASML如何在挣扎中变异。


在本书中,我们看到ASML和荷兰一直在努力对抗美国的出口管制,对于中国剧增的DUV订单竭力交付。为了应付近两年出货量倍增,ASML的员工数也急剧膨胀,到2023年有四分之一的员工是一年内的新员工。但是,在技术保密层面,ASML也做了急转弯。


ASML原本是个崇尚开放文化的公司,对公司技术文档的安全管理并不严格,因为他们需要和很多技术合作伙伴、客户以及科研机构紧密合作。


ASML对保密采取了明显的实用主义态度。他们认为在技术竞赛中,只有一种赢的方法 -你必须比对手跑得更快。当然他们也很有自信,因为无数Know-how藏在不同的部件里甚至供应商端,复制确实也不容易。


近年来ASML也自称开始频繁遭受间谍和黑客活动的袭击,仅在2022年就记录了2800起网络事件,从勒索软件攻击到窃取知识产权的尝试应有尽有。


ASML里中国员工数量惊人,这部分归功于中国优秀的大学工科教育和扩招,ASML确实在全球也难以找到足够的其它国家工程师来替代。直到2021年ASML才开始对新招聘员工做背景审查。



更多内容咱也不方便多讲了。最后,我们从书中的描述一瞥能源问题。


“光刻机从电网中获得500万瓦,产生30千瓦的激光,从而产生100瓦的EUV光。其中,大约有1瓦的光最终落在晶圆上。” 


读者们用膝盖算一算都能知道这种能源使用效率之低下,而这在其它领域也是完全不可想象的。据有人测算,拥有100台EUV的台积电,大概可消耗整个台湾岛十分之一的电力。


虽然科学家们仍在努力,试图回收光刻机损失的巨大热量和能量,用于取暖或什么其它的,但这个功率巨兽也仍在进化变大。甚至,它加工出来的那些AI芯片,又会带来更恐怖的电力消耗。现在最大胆的预测,也许都是对未来巨大能源使用量的低估。


总体来说,这本书还是值得一读的。作者的野心更大,他试图从更广阔的视野,包括地缘政治、能源环保、人力资源、文化商战等多个角度来勾勒ASML这家被迫站在聚光灯下的公司。


本文来自微信公众号:金捷幡 (ID:jin-jiefan),作者:金捷幡

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