光刻机之战（3）

虎嗅注：《光刻机之战》里面关于日本人如何打败美国的描述非常粗糙。考虑到日本和欧洲当时的情况对我国发展集成电路很有借鉴意义，所以计划再分两三篇聊一下这些故事。回顾之前的章节，可以戳：《光刻机之战（1）》《光刻机之战（2）》。

本文来自微信公众号：金捷幡（ID：jin-jiefan），作者：金捷幡，封面：东方IC

一

在80年代初，为了不被强劲发展的美日甩开距离，欧洲共同体在高科技领域推出政府资助主导的“尤里卡计划”。在这个计划框架内，有个关于集成电路的子计划叫做JESSI。

JESSI里面最重要的一个项目叫做MEGA，就是做Megabit（1Mb）的内存。看我专栏的朋友都知道，内存就是电子业的石油，因为电子产品基本都需要用到。

MEGA项目的核心主导者是飞利浦（NXP前身）和西门子（英飞凌前身）。考虑到内存业投资巨大和风险巨大，两个公司分工了一下：飞利浦负责SRAM，西门子负责DRAM。

项目正式启动是在1984年，两大巨头计划五年内各出资约15亿马克，其中两国政府资助约5亿马克，目标是在80年代末赶上日本人。

那时美元对马克大约是1:2（中国职工月工资应该不到30美元），所以这是非常大的一笔钱。

MEGA项目也有很多配套厂商，包括ASML。理论上它将从MEGA项目中获益，然而实际上如何呢？我们留到后面再说。

二

法国的Thomson公司找西门子想要合作做内存，而德国人似乎看不上法国人。结果Thomson去找了意大利的SGS公司，两公司当时都相对弱一些，决定抱团取暖参加JESSI。合并后的SGS-Thomson后来缩写成ST，就是著名的意法半导体（ST Microelectronics）。

因为当时电子电路数字化的潮流浩浩荡荡，日美公司都把绝大多数资源投入数字电路。制程落后的意法半导体选择了避开锋芒，在模拟和混合电路上找到了立足点，他们在低级的EPROM上也赚了不少钱。

西门子则选择了弯道超车，直接从日本东芝引进DRAM技术，顺利在1987年量产了1Mb DRAM，甚至领先了美国人。

因为这个原因，西门子直接引入了全套日本生产线，包括佳能光刻机。

ASML则欲哭无泪，原本案板上的鸭子飞了。说好了是欧洲政府补贴的项目，好处却给了日本人。

ASML当时产品还没有很好的成功案例，西门子不愿意做小白鼠也是可以理解的。

这个大生意一丢就是十来年，ASML直到英飞凌独立才开始拿回光刻机业务。

西门子MEGA项目的成功使得其内存业务蒸蒸日上二十年，直到奇梦达破产，而破产根源之一是东芝退出了Trench技术联盟。（这是一种轮回么？，详见《内存的故事》）

西门子1Mb内存 （Photo Credit: Siemens）

三

好在ASML还有飞利浦这个亲爸爸。在ASML一台光刻机都卖不出去的时候，飞利浦还是率先买了几台。1987年飞利浦MEGA项目上线时，把宝都压给了ASML第三款光刻机PAS2500。

然而，SRAM的市场需求并不大，而且英特尔还把它集成到CPU里（Cache缓存）。

最终飞利浦的MEGA项目失败了。有分析师说，飞利浦SRAM的年产能足够全球用四年。

有意思的是，飞利浦MEGA的失败却酝酿着一个巨大的成功——台积电。

很多人不知道，台积电1987年诞生时是台湾工研院和飞利浦的合资公司。在台积电里，飞利浦占27.5%股份，是最大的外部股东。

飞利浦毫无保留地把MEGA生产线开放给台积电学习，然后再原封不动地把整条生产线搬到台湾给台积电。

意外的是，1988年底生产线快装好的时候，发生了一场火灾。台积电把所有被烟熏了的光刻机退回ASML，并下了个十七台新机的订单。

ASML刚好非常缺钱，这些订单在关键时刻救了急。结果为火灾买单的保险公司，等于成了ASML 1989年最大的客户。

一小时可以生产70片6英寸晶圆的PAS2500，刚好是ASML第一款真正实现高速和稳定的光刻机。

也许真的是时势造英雄。ASML和台积电两个当时默默无闻的小公司，经过如此因缘巧合互相扶持，终成今天半导体行业的绝代双骄。

本文来自微信公众号：金捷幡（ID：jin-jiefan），作者：金捷幡，封面：东方IC