日本，不敢断供光刻胶

本文来自微信公众号： 科工力量 ，作者：石燕红

最近，一条消息突然刷屏。日本东京应化、JSR、信越化学、富士胶片——四家控制全球高端光刻胶市场90%的日本企业，宣布全面停止接收中国ArF/EUV光刻胶新订单，KrF光刻胶新增订单大幅压缩；撤出全部在华驻场工艺技术团队，售后、调试、配方适配全部中断；原有存量合同交货周期拉长至6-8个月，实际交付量大幅缩水。

消息传出后，大量媒体、自媒体和投资账号迅速跟进。有人说：这是日本对中国半导体产业最严厉的一次封锁。还有人则表达相反的观点，认为这是中国光刻胶国产替代的历史性转折点。

既然影响这么大的事情，我们肯定要谈谈。但当真正开始验证这条消息的时候，却很多关键信息对不上。

原文提到，2026年第一季度中国从日本进口的半导体级光刻胶111.3吨，跌了95%。1月是69.2吨，2月直接清零，3月为42.1吨。但还有消息说，ArF/EUV已连续5个月保持零进口状态，高端KrF也只有零星到货，目前晶圆厂只能支撑1-2个月。

但我们查证了海关总署的信息，最新1-5月的数据中，中国自日本进口光刻胶数量分别达到1622吨、1495吨、1958吨、1910吨和1939吨，五个月累计超过8900吨。虽然没有把ArF/EUV光刻胶单列出来，但整体来看，无论从单月数据还是累计规模来看，都没有出现“断崖式下跌”的迹象。

更有意思的还在后面。我们查到，早在去年11月，日本停止出口中国光刻胶的消息就已经传过一波了。不过当时涉及的是佳能、尼康以及三菱等三家日本公司，但其实这三家公司并不生产光刻胶，而是光刻机、零件以及光刻胶的原材料。当时就有媒体辟谣，这是国内股票投机者散布的。

2025年12月3日，有消息表示日本内阁官房长官木原稔在新闻发布会上还否认了关于日本已停止向中国出口光刻胶的报道。

此次断供消息内容和上次如出一辙。虽然还没有日本官方辟谣，但从事件开始到爆发，日本专业媒体、日本四大企业的官网以及国内专业媒体，都未对这一“重大事件”进行报道。

相比较讨论日本是否会断供，更值得思考的是，这条消息甚至连最基本的证据链都不完整，为什么它依然能够在短时间内引发如此大的关注？

答案其实并不复杂。因为相比消息真假，人们更担心的是另一件事——如果有一天高端光刻胶真的被切断供应，中国半导体产业会受到多大影响？

而要回答这个问题，就必须先弄清楚光刻胶究竟是什么，以及它为什么会成为先进芯片制造中最关键的材料之一。

为什么高端光刻胶能卡住芯片咽喉？

一听到光刻胶，大家很容易联想到“光刻机”，事实上，这两个在工艺上确实属于前后脚程序。如果把光刻机比作一台投影仪，那光刻胶就相当于感光底片。光刻机负责把图案照到晶圆上，光刻胶负责把图案“记”下来，随后再经过刻蚀等工艺，把图案真正转移到芯片表面。

但如果只是把光刻胶理解成一种“感光材料”，显然无法解释为什么一则未经证实的传闻会引发如此大的关注。

事实上，在半导体产业链里，光刻胶虽然不像光刻机那样昂贵，也不像芯片那样直接面向市场，但在当下先进制造中，它的体量虽小，但足以卡住芯片制造的咽喉。

把芯片制造理解成在晶圆上“画画”，光刻机决定的是能把笔画画得多细，而光刻胶决定的是这些笔画会不会变形、断裂、粘连，最终能否形成合格产品。

对于成熟制程来说，光刻胶的问题还不算特别突出。但随着制程进入7纳米、5纳米甚至3纳米时代，光刻胶的问题就出现了。

光刻胶产业长期存在一个著名的“三角难题”——分辨率、灵敏度和线边缘粗糙度如何平衡。分辨率越高，才能刻出更细的线路；灵敏度越高，曝光速度越快，生产效率越高；线边缘粗糙度越低，芯片性能和良率越稳定。但问题在于，这三个指标往往互相制约。提高灵敏度，可能导致化学反应扩散过度，图案边缘变得粗糙；追求极限分辨率，又可能牺牲生产效率和稳定性。所以光刻胶研发本质其实是在这些相互矛盾的性能指标之间寻找平衡。

而到了EUV时代，问题进一步升级。过去ArF光刻主要依赖193纳米激光完成曝光，但EUV使用的是13.5纳米极紫外光，更短的波长带来更高的清晰度，但能量提高数十倍带来的问题是参与的光子数量减少，因此更容易造成随机缺陷。

对于先进芯片而言，这种缺陷往往意味着整片晶圆报废。也正因为如此，近年来国际半导体产业关于EUV技术的讨论，越来越集中在光刻胶、随机缺陷和材料体系本身，而不仅仅是光刻机设备。

光刻胶和其他材料还有所不同，他不是供应商研发出产品，然后客户直接买来用。高端光刻胶往往是供应商和客户一起开发、一起验证、一起优化。换句话说，光刻胶的难，不只是在材料生产，考验材料科学能力，更考验长期产业积累。先进制程所需要的光刻胶性能，往往无法通过一次技术突破实现，而是需要在数十年的研发、验证和量产过程中不断迭代。

配方堆起的护城河

很多人在讨论光刻胶的时候，把它看作是一个产品。但实际上，光刻胶更像是一个庞大的“配方家族”。

我们常见的划分是按照曝光波长来分代，有G-line、I-line、KrF、ArF以及EUV，波长越长，技术门槛越高。其中，ArF和EUV光刻胶被认为是行业皇冠上的明珠。

这还只是家谱的第一页。当光刻胶真正进入晶圆厂，会发现即使是同一种光刻胶，在不同产线、不同产品上需要的配方也不同。同样是ArF光刻胶，逻辑芯片、DRAM、NAND闪存需要不同配方；同一颗芯片上，不同工艺层甚至也会使用不同配方。这些“配方库”的实践，恰恰是日本长期占据全球光刻胶主要市场，构建起极高的技术壁垒的关键。

早在上世纪60年代，东京应化就已经开始全面布局光刻胶业务；1972年，日本第一款半导体用正性光刻胶问世。此后，JSR、信越化学等企业陆续进入市场，围绕半导体制造所需的光刻材料持续投入研发。

更为关键的是，日本光刻胶的发展，正好赶上了全球半导体发展的黄金时期，70年代的集成电路、80年代的日本半导体再到90年代的全球晶圆厂持续扩张，日本光刻胶每一次的迭代都是站在真实的产业需求上，因此他能比别人更早地生产并量产ArF/EUV光刻胶。

对于光刻胶而言，时间和实践都是最重要的竞争壁垒。每一代产品都需要在客户产线上完成验证，每一次工艺升级都会沉淀新的配方经验。几十年下来，日本企业积累的除了专利，还有数千种经过量产验证的工艺配方，以及与全球主要晶圆厂共同研发形成的技术体系。这也是日本光刻胶为何难以撼动的根本原因。

不过，日本光刻胶企业的技术优势，并不意味着他们可以随时切断对中国市场的供应。原因很简单，光刻胶本质上是一门依赖规模效应的生意。一款先进光刻胶从实验室走向量产，需要投入巨量研发，但真正投产，能够消化这些成本的客户数量却十分有限。根据TECHCET的测算，2025年全球半导体用光刻胶的市场规模，只有大约33亿美元。

而中国，恰恰是全球最重要的光刻胶消费市场之一。到2024年，中国光刻胶市场规模将达到7.71亿美元，同比增长42.25%，占全球需求的28.2%，按行业估算，目前中国的光刻胶需求达到全球的三分之一。随着国内晶圆厂持续扩产，中国市场对东京应化、JSR、信越化学和富士胶片等日本企业的重要性也在不断提升。

从2023年7月日本经济产业省对23种先进半导体制造设备实施出口管制；到2025年1月进一步扩大半导体和量子技术相关出口管制;再到同年4月新增CMOS集成电路、GAAFET相关技术以及量子计算机等项目进入许可管理范围。日本一直没有将光刻胶纳入出口禁令。从市场供需来看，日本光刻胶产业更依赖中国市场的消化，如果断供，对日本的影响甚至比对中国的都大。

日本已不是光刻胶霸主

今年1月，中国日报发布了一篇名为《中国对日本可能实施的禁令并不在意》的文章。文章采访了光刻胶产业链涉及的企业。他们都不约而同表达同一个观点：过去几年，中国半导体行业一直在为光刻胶自主化做准备，即使日本限制供应，也能迅速在国内外找到替代品来填补缺口。

2024年中国半导体光刻胶整体国产化率约为15%左右，五年前这个比例还只有5%左右。当下，成熟制程使用的G-line、I-line光刻胶国产化率已经超过30%；KrF光刻胶则实现关键突破，自给率从2024年的不足10%提升至2025年的15%以上，进入规模化供货阶段，ArF和EUV光刻胶则在进一步攻克中。

北京科华代表着国产KrF光刻胶商业化最成熟的一批企业。相比早期“能否做出来”的阶段，北京科华目前已经成为国内KrF光刻胶主要供应商之一。公开资料显示，其产品已进入多家本土晶圆厂供应链，相关上海基地新增的千吨级半导体光刻胶产能也已进入试生产阶段。与此同时，公司还在向ArF光刻胶及上游树脂材料延伸，逐步形成从关键原材料到成品光刻胶的完整体系。

南大光电也是国产光刻胶头部企业。截至2025年，累计有6款ArF光刻胶产品通过客户验证并销售，20全年光刻胶业务收入突破2000万元。此外，南大光点还是国内唯一实现28nm浸没式ArF光刻胶商业化批量供货的企业，在高端ArF光刻胶领域占据领先地位。

另一家国产光刻胶企业徐州博康，产品覆盖28nm至90nm工艺节点，全系列30余款光刻胶产品已通过多家头部客户验证，ArF光刻胶产品进入中芯国际与长江存储的供应链，最近还通过国内头部晶圆厂的验证，开始批量供货。

从国际产业格局来看，中国面临的情况其实也没有很严峻。日本并不是唯一具备高端光刻胶供应能力的国家。2019年日韩贸易摩擦之后，韩国投入大量资源推进光刻胶国产化，目前已经形成较为完整的ArF光刻胶供应体系，东进世美肯等企业的产品已进入三星等头部晶圆厂供应链，在最难做的EUV光刻胶领域，其也只落后日本1至2代。若日本断供，中国企业完全可以绕道韩国订货。

事实上，回头看这场“日本四大光刻胶巨头断供中国”的传闻，最值得关注的或许不是消息真假，而是为什么它总能引发市场如此大的焦虑。

过去很长一段时间里，高端光刻胶确实是中国半导体产业链上的薄弱环节，日本企业也长期占据主导地位。但与今时不同往日，日本仍然领先，但中国企业正在进入量产阶段，韩国等国家也建立起了先进光刻胶供应能力。日本是全球光刻胶市场的绝对强者，却已经不再只有唯一的供应者。

从这个角度看，即使未来日本进一步收紧供应，影响的更多是成本、认证和供应链调整，而不是产业停摆。

对中国半导体产业来说，真正重要的从来不是证明别人不会断供，而是即便有人断供，也依然拥有继续向前的能力。