从1.1亿元中标公告，看透国产光刻机的史诗级突围

上海微电子以1.1亿元中标科技部项目，标志着国家级科研正式启用国产设备。步进扫描式光刻机是芯片制造的核心，没有它，晶圆厂就像没灶台的厨房。这个领域长期被荷兰阿斯麦、日本尼康和佳能垄断，如今国产终于突破。