应用材料的故事：ALD魔咒

本文来自微信公众号：金捷幡（ID：jin-jiefan），作者：金捷幡，原文标题：《AMAT的故事(2)--ALD魔咒》，前篇：《应用材料背后：三个男人的故事》，头图来自：视觉中国

一、AMAT的版图扩张

半导体设备领袖应用材料公司（AMAT）在收购东京电子（TEL）失败后，并没有气馁。不断扩张版图弥补短板，仍是AMAT的重要目标。

下一个猎物，是Kokusai Electric（KE）。

Kokusai在日语是“国际”的意思，“国际电信”是日本侵华时期成立的官方无线电设备公司，它在2000年和日立电子合并成日立国际电气（Hitachi Kokusai Electric）。

在主搞广播通信的日立国际里，有个很诡异的部门，专做半导体薄膜。

这个部门的LPCVD（tube CVD）和氧化/扩散业务非常强，而AMAT在相关领域非常弱鸡，拿下日立这个部门，将如虎添翼。

但这个事怎么操作呢？日立没说很想卖呀。

这就需要私募来缝合了。

二、KKR勇斗艾略特

2017年初，KKR不断购入日立国际的股票，然后在4月份和日立达成协议，分拆薄膜部门22亿美元单独拿下，这就是后来的KE。

没想到，美国另一家激进对冲基金巨头艾略特的刀也拔了出来。

艾略特（Elliott）虽然规模小一些，但是其著名的歌者老板（Paul Singer）玩狠的声名超过了KKR。艾略特一度持股接近9%，迫使KKR把收购价从22亿美元提高到30亿美元。

虽然没有确切证据说明AMAT站在KKR背后，但KKR能坚持高价完成收购，然后仅一年就以35亿美元转手KE给AMAT，说两者没关系我是不信的。

爱尔兰、日本和韩国迅速就批准了AMAT这项并购。但AMAT等了两年，也没等到最后一个批准：

中国没同意。

三、AMAT的隐含损失

适逢2019年特朗普对华为的打击，使得中国对美系厂商的并购特别谨慎。国内相对比较优秀的设备商如北方华创、沈阳拓荆等的主攻方向也是做薄膜（沉积和炉管等），和KE重合度还是挺高的。

直到2021年3月底订婚合约到期，我国官方也没答复，AMAT只得宣布并购失败。

AMAT通过拿下KE反攻内存设备市场的目标再次受挫。另外一个隐含的损失，则是本文的标题：

原子层沉积（ALD）。

ALD是在表面铺一层薄薄原子的技术，对比传统的CVD、溅射、蒸镀等技术，薄膜厚度极其均匀而且缺陷小，其应用则越来越广泛。

四、痛苦煎熬的ASM

在《ASM和电子束光刻》一文中提到过，ALD是ASM International闪耀归来的关键。

我也说到2009年英特尔才给了ASM救命钱，到2013年ALD大量出货使得ASM的前端业务（WFE）才恢复了盈利。

那么，在半导体行业引入新技术的痛苦阵痛阶段，ASM曾如何自救呢？

在2007年和2008年，ASM把自己珍贵的ALD技术授权给了KE和TEL，授权期长达10年。

这有点像引狼入室。但一方面那些授权费帮ASM熬到了2009年，另外一方面ASM也需要日本巨头共同帮助ALD配套成熟推向市场。DRAM厂商比英特尔更早引入ALD，如果没有它们吃螃蟹，英特尔的High-K可能会进一步延迟。

五、ASM的代价

ASM目前2/3的营业额来自ALD，其市场需求仍在快速增长中，ASM的ALD遥遥领先占其中约一半的份额。

毕竟ALD总TAM相对还是有限，所以守住ALD是ASM的底线。

ALD设备可粗分成两大类：单片晶圆处理和多片晶圆处理。前者多用于高端逻辑芯片，对精度控制极高；后者多用于内存芯片（DRAM和NAND）。

先进制程中的单片ALD设备，ASM占绝对领导地位。而对于多片批处理ALD，TEL和KE则优势明显，日系ALD一次能处理100片晶圆甚至更多。

三星的内存产线曾经满满的全是KE的ALD，但在日韩贸易战后，开始扶植本土的Eugene。Hynix同样全力扶植韩系的Jusung和Wonik IPS。

不能不联想的是，韩系设备商的技术渊源，会和日本不无关系。

那么在四面围攻下，ASM的ALD剩下的王牌是什么呢？

六、ASM的专利

有人突然想到：对啊，2017年ASM对KE的十年技术授权不是到期了么。

确实，在2017年ASM立马对KE发起技术侵权的仲裁申请，两年后KE（KKR）支付1.15亿美元和解。

在KE的官网上，你甚至看不到ALD这三个字，只能看见多片“批处理设备”。这也许是对ASM权威的尊重，也许这是和解的一部分吧。

下两图显示了ASM在ALD专利组合强度上仍遥遥领先。

(Chart Credit: LexisNexis)

七、抵抗AMAT的入侵

我们在前文里提到，AMAT的关联私募Mellon/Fursa曾在次贷危机期间试图入主ASM，自己也亲自下场，不得不感叹AMAT对ALD的前瞻判断。

小del Prado（Chuck同志）在2007年临危受命，在公司最艰难的情况下，抵御了一波又一波顽强攻击。对方不断泼脏水和购买股票试图入主董事会罢免他，法院判他败诉他仍咬牙坚持，直到n年后精疲力竭打到最高法院。

在公司不断失血的过程中，ASM WFE挥泪裁员1/4以及拆公司和卖技术授权，如果不是对自家企业的爱和坚定信念，一般人肯定扛不住这种压力一卖了之。

老del Prado不服输的血液流淌在儿子的血管里。苦熬5年后，ASM的ALD羽翼渐丰随即展翅高飞。从Chuck接棒公司到今天的ASM International股价翻了100倍，其百亿欧元的市值已经不再是AMAT可以轻易搞定的了。

ALD就像个魔法项链。财大气粗的AMAT反复追求戴着这个项链的各位气质美女（ASM、TEL和KE），聘礼都下了好多次，就是娶不进家门。

本文来自微信公众号：金捷幡（ID：jin-jiefan），作者：金捷幡