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#高新技术流
2022-12-03 15:10
实现5nm、打破ASML垄断,纳米压印光刻技术是什么?

此前,荷兰光刻机巨头ASML向我国出口光刻机与美国谈判的事情,一度受到了非常广泛的关注。其中有一个流传很广的观点,认为由于目前日本纳米压印技术(NIL)取得了突破,可以在无需采用EUV光刻机的情况下,制造出5nm的芯片,使得ASML倍感压力。NIL纳米压印是什么技术?这项技术能够代替EUV光刻机吗?对比EUV、DUV电子束技术,它的优劣势在哪里?我们能否使用这项技术实现弯道超车呢?

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