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前段时间,上海鼎泰匠芯科技在上海临港区举行了ASML光刻机搬入仪式,正式迎来了其首台光刻机。鼎泰匠芯洁净室项目是上海市重大项目之一,总投资超过120亿元,按照国际顶级的标准建设,引进了标准的生产设备实现高度自动化,目标是建设中国第一座12英寸车规级半导体晶圆厂。
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